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Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Dr.-Ing. Oliver Morlok (auth.)
abbildungen
seiten
bild
verfahren
schichten
seilen
selten
oberfläche
plasma
tabellen
pacvd
stickstoff
schicht
härte
cvd
sowie
fiir
proben
untersuchungen
bereich
kartoniert
probe
temperatur
abscheidung
beschichtung
reaktionen
hartstoffschichten
nitrieren
teilchen
verbindungsschicht
mittels
wachstumsrate
elektronen
substrat
chemische
deposition
druck
kombinationsschichten
anlage
bzw
industrierobotern
einsatz
erfolgt
ionen
leistung
verlag
coatings
dargestellt
ermittelt
tic14
Année:
1998
Langue:
german
Fichier:
PDF, 3.62 MB
Vos balises:
0
/
0
german, 1998
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