Микроэлектрохимическая обработка поверхности полупроводниковыми электрод-инструментами

Статья. Опубликована в электронном научном журнале «ИССЛЕДОВАНО В РОССИИ». – Том 8 – 2005. – с. 1002-1004.Аннотация:
Материал фотоактивного ЭИ должен быть стойким в среде применяемого электролита, либо покрыт плёнкой защитного широкозонного полупроводника. Такие ЭИ могут быть использованы для маркирования деталей, изготовления фирменных табличек, товарных знаков, плоских фигурных деталей, плат печатного монтажа, декоративной и другой продукции, где требуется неглубокая рельефная обработка токопроводящей поверхности.